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來源：-sel@Flickr, CC BY-NC-SA 2.0

本文由日經BP社提供 

輕軟勝於鴻毛，能貼在肌膚上的可穿戴式感測器，由東京大學工學系研究科教授染谷隆夫等人開發成功。該感測器為薄膜狀，單位面積的重量只有3g/m2。據稱，重量只有普通紙張的1/27左右，而且厚度也只有2μm（編按：一根頭髮的平均厚度約為80 µm）。

染谷等人於10年前的2003年，開發出了可在機器人的人工皮膚上使用的薄型感測器薄膜，但其厚度為2mm。透過將厚度減至1/1000，感測器變得柔軟可彎曲，還能貼在人體上使用。由於又輕又薄，可以減輕貼在皮膚上的不適感，因此染谷等人希望能將其用作可持續計測人體資訊的醫療及健康用感測器（圖1）。

圖1 從機器人的人工皮膚到人類的醫療及健康用感測器，用途有望不斷擴大，透過實現薄膜感測器的超輕化和超薄化，可以減輕貼在人體上所帶來的不適感。由此，用途有望擴大到醫療及健康用感測器領域。（照片來自於東京大學）

在薄膜基板上集成有機TFT

醫療及健康用途的感測器及電子電路，迄今一直使用以矽（Si）為主的硬質電子材料製作。但對於直接接觸人體肌膚的部分等，使用輕柔材料以消除裝上異物感的部件備受期待。

於是，染谷等人確立了在厚度僅1.2μm的塑膠薄膜基板上製作用來讀取感測器信號的TFT陣列的技術，開發出了與該TFT陣列和壓力感測器元件相結合的薄膜壓力感測器。為了在耐熱性較低的薄膜基板上直接形成TFT陣列，TFT採用了有機半導體，並將製造工藝溫度控制在了100℃以下。有機半導體層及電極層是採用基於蒸鍍罩（Shadow Mask）的真空蒸鍍法形成的（圖2）。

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